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普達特科技(00650)附屬獲得兩台半導體低壓化學氣相沉積(LPCVD)設備的樣機訂單

時間2025-05-13 21:53:37

普達特科技

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普達特科技(00650)發布公告,本公司控股69.2%的附屬公司芯恺半導體設備(徐州)有限責任公司,已從一個客戶(該客戶)處獲得兩台半導體低壓化學氣相沉積(LPCVD)設備(該等設備)的樣機訂單。該等樣機訂單的收入暫未確認。據董事經作出一切合理查詢後所深知、盡悉及確信,于本公告日期,該客戶及其最終實益擁有人爲獨立于本公司及其關連人士的第叁方。

該等設備爲用于12寸半導體晶圓制造的爐管LPCVD設備,分別針對LP-SiN與ALD-SiN兩類關鍵的薄膜沉積工藝,已經曆前期的測試驗證,將分別于2025年5月19日與2025年6月25日交付至客戶的晶圓廠。相比國産的同類設備,該等設備在技術上可實現更高的填充深寬比、均勻性、台階覆蓋率與更低的汙染,此外該等設備擁有更高的批次生産效率,且具備多種工藝選擇的兼容性。相比海外供應商的同類設備,該等設備具有同等水平的技術性能與更優的性價比,可爲客戶提供更具綜合競爭力的解決方案。

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